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德國Heidenhain編碼器LC193F-640-9掃描方法
掃描方法
光電掃描
海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描為非接觸式掃描，因此無磨
損。光電掃描可以檢測到非常精細(xì)的光柵，柵線寬度僅數(shù)微米，生成的輸出信號的信號周期非常細(xì)小。
ECN、EQN、ERN、ROC、ROQ和ROD旋轉(zhuǎn)編碼器采用成像掃描原理。
簡單地說，成像掃描原理是用透射光生成信號；例如用兩個柵距相同柵狀結(jié)構(gòu)（柵尺與掃描掩膜）彼此相對地運動。掃描掩
膜為透明基體。測量基準(zhǔn)上的柵狀結(jié)構(gòu)可在透明面上，也可在反光面上。
當(dāng)平行光穿過光柵時，投影形成一定的間隔的明/暗光影區(qū)。柵距相同的掃描光柵位
于柵狀結(jié)構(gòu)投影的成像位置。當(dāng)這兩個柵狀結(jié)構(gòu)相對運動時，調(diào)制入射光：如果狹縫對齊，光線通過。如果一條柵線與另一
個上的狹縫對齊，光線無法通過。光電池將這些光強變化轉(zhuǎn)化成近似正弦波形的電信號。采用成像掃描原理的編碼器可用較大的安裝公差，小柵距可達10 μm。
用該掃描原理的式旋轉(zhuǎn)編碼器的光電池是大型、精細(xì)的柵狀光電池，而不是一組分立的光電池。光電傳感器的柵狀結(jié)寬度與測量基準(zhǔn)柵狀結(jié)構(gòu)的寬度相同。因此無需具有相同柵狀結(jié)構(gòu)的掃描掩膜。
其它掃描原理
ECI/EBI/EQI和RIC/RIQ旋轉(zhuǎn)編碼器采用感應(yīng)式測量原理。感應(yīng)掃描中，柵狀結(jié)構(gòu)調(diào)
制高頻信號的幅值和相位。通過圓周掃描，位置值信號全部由沿圓周均勻分布的接收線圈生成。
德國Heidenhain編碼器LC193F-640-9掃描方法
